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APPARATUS FOR MEASURING ELECTRON EMISSION DISTRIBUTION

Seeds code S110005191
Posted date Jan 4, 2011
Researchers
  • (In Japanese)佐々木 正洋
  • (In Japanese)佐藤 貴伸
  • (In Japanese)才田 守彦
Name of technology APPARATUS FOR MEASURING ELECTRON EMISSION DISTRIBUTION
Technology summary (In Japanese)探針6を試料7に対して移動させる。試料7にバイアス電圧が印加されると探針6と試料7との間を流れるトンネル電流を電圧変換する。プリアンプ10の出力側に設けられ、試料7にバイアス電圧を印加するSTM用バイアス電源9を備える。STM用バイアス電源9より高電圧であり試料7にバイアス電圧を印加するFE用バイアス電源25と、STM用バイアス電源9とFE用バイアス電源25を交互に切り換える切換スイッチと、サンプルホールド回路と、を備えている。サンプルホールド回路は、タイミング信号発生器に互いに並列に接続された第1サンプルホールド回路及び第2サンプルホールド回路を有し、それぞれタイミング信号発生器から送られるサンプル信号によりプリアンプからの入力を出力するサンプリング動作を行い、ホールド信号によりホールド信号入力直前のプリアンプからの入力を保持して出力する。試料にFE用バイアス電源の電圧が印加されている期間は、第1サンプルホールド回路は保持動作が行われているが、第2サンプルホールド回路は期間中にサンプル信号が加えられると、プリアンプからの出力で電子放出分布像の計測に供する。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2005-270889.gif
Seeds that can be deployed (In Japanese)走査型トンネル顕微鏡などにおいて、高分解能電子放出分布の測定も可能な電子放出分布測定装置を実現する。
走査型トンネル顕微鏡などの探針と試料との間に流れる電流を検出し、制御するSTMに簡単な回路を付加するだけで、高分解能の電子放出分布とその絶対値の測定が可能となる。しかも、この回路は、通常のSTMに追加するだけで新たな改造を特別加えることなく目的の機能を実現することができる。
Usage Use field (In Japanese)CITS法、STFEM法、STM計測
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人 筑波大学, . (In Japanese)佐々木 正洋, 佐藤 貴伸, 才田 守彦, . APPARATUS FOR MEASURING ELECTRON EMISSION DISTRIBUTION. P2007-078660A. Mar 29, 2007
  • G01Q  60/12     
  • G01Q  10/06     
  • G01Q  10/04     
  • G01B   7/34     

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