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非接触支持装置


シーズコード	S110005369
掲載日	2011年1月11日
研究者	大岩孝彰
技術名称	非接触支持装置
技術概要	スクイズ空気軸受１０は、駆動されて超音波振動を生じるピエゾ素子１６と、軸方向の一端面４０Ａと金属ブロック１８との間にピエゾ素子１６を同軸的に挟み込んで保持したホーン２０を備える。ホーン２０は、ピエゾ素子１６にて加振されることで、外周部に形成された支持面４２Ａと回転浮上体１２との間に生成されるスクイズ空気膜を介して該回転浮上体１２を非接触状態で支持する。起振体が駆動されて超音波振動が生じると、この超音波振動が第３部材に伝達され、第３部材のポアソン効果に基づく径方向への振動方向変換作用によって、第３部材の外周部に形成された支持面が超音波振動し、支持面と第２部材との間に空気膜（スクイズ空気膜）が生成される。この空気膜によって、第２部材が第３部材に対して、又は第３部材が第２部材に対して、非接触状態で支持される。
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研究分野	軸受圧電デバイス
展開可能なシーズ	被支持体を非接触で支持するための非接触支持装置の小型化を図る。第２部材との間に空気膜が生成される第３部材が第１部材との間に起振体を挟み込んでいるため、換言すれば、第３部材が起振体に直接的に接触しているため、例えば一対の金属ブロック間に圧電素子（起振体）を挟み込んだ超音波振動子を備えた構成と比較して、軸方向の寸法を小型化することができる。起振体としてピエゾ素子を備えた例を示したが、超音波振動を生じ得る（ホーンを加振し得る）各種起振体を採用することができる。
用途利用分野	スクイズ空気軸受、超音波振動子
出願特許		特許	国際特許分類(IPC)
出願特許	( 1 )	国立大学法人静岡大学， . 大岩孝彰， . 非接触支持装置. 特開2007-321811. 2007-12-13	F16C 32/06 F16C 29/02 F16C 11/08