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THICKNESS MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE OF TRANSPARENT LAYER

Seeds code S110005488
Posted date Jan 12, 2011
Researchers
  • (In Japanese)安達 正明
Name of technology THICKNESS MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE OF TRANSPARENT LAYER
Technology summary (In Japanese)反射が少ない透明層1と、透明層1との境界面において反射する不透明層3とが積層される。透明層1の表面に向けてレーザ光を照射し、表面での第1の反射光2Xと、境界面での第2の反射光3Xとから透明層1の厚みを計測する。S偏光成分とP偏光成分とによって表面での反射率の大きさが異なる角度でレーザ光を透明層に入射し、第1の反射光と第2の反射光とを受光部にて撮像する。S偏光成分によるレーザ光の反射光を撮像した第1の撮像データと、P偏光成分によるレーザ光の反射光を撮像した第2の撮像データとを画像データ記録部に記憶し、第1の撮像データと第2の撮像データとの差から表面位置判定部にて表面の位置を判定する。第2の撮像データから境界面位置判定部にて境界面の位置を判定する。表面位置判定部にて判定した表面の位置データと、境界面位置判定部にて判定した境界面の位置データとから、透明層の厚さを計測する。透明層が透明体からなる塗装膜であり、不透明層がアルミ粉末などからなるメタリック層である。
Drawing

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thum_2006-348834.gif
Research field
  • Measuring methods and instruments of length, area, cross section, volume, angle
  • Lasers in general
Seeds that can be deployed (In Japanese)光の干渉現象によらずに、メタリック塗装のクリア層の膜厚測定に用いられる透明層の厚さ測定方法及び測定装置を提供する。
第2の撮像データからは境界面の位置を判定できるとともに、第1の撮像データと第2の撮像データとの差から表面の位置を判定できるため、表面の位置データと境界面の位置データとから、透明層の厚さを計測することができる。また、不透明層が金属粉末を塗布したようなメタリック層のように、境界面が乱反射を生じるような測定物においても、透明層の厚さを正確に計測することができる。更に、非接触にて計測を行うことができるため、透明層が半乾きの状態で測定を行うことができる。表面に透明層を有する塗装膜の膜厚や半導体ウエハにおける透明な絶縁膜厚の膜厚などの測定に利用できる。
Usage Use field (In Japanese)メタリック塗装、ブリュースター角入射角
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人金沢大学, . (In Japanese)安達 正明, . THICKNESS MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE OF TRANSPARENT LAYER. P2008-157834A. Jul 10, 2008
  • G01B  11/06     
  • B05D   1/36     
  • B05D   5/06     
  • B05C  11/00     

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