Top > Search Technology seeds > OPTICAL PATTERNING MATERIAL AND OPTICAL PATTERN FORMING METHOD

OPTICAL PATTERNING MATERIAL AND OPTICAL PATTERN FORMING METHOD

Seeds code S110006909
Posted date Dec 8, 2011
Researchers
  • (In Japanese)高原 茂
Name of technology OPTICAL PATTERNING MATERIAL AND OPTICAL PATTERN FORMING METHOD
Technology summary (In Japanese)基板2として、シリコンウエハーを用意し、これにビリルビンの1.3wt.%ジメチルスルフォキシド(DMSO)溶液を滴下し、スピンコート法により製膜した。触針式膜厚計(アルファステップ)により膜厚を測定したところ、4500rpm回転の条件でおよそ30nmのビリルビン薄膜1が得られた。これを、常温または100℃以下で乾燥した。この薄膜の紫外-可視スペクトルを測定すると400nm-500nmに大きな光吸収を示した。これは可視光源、例えば通常のランプ以外にもアルゴンイオンレーザーや半導体レーザーによっても感光させることが可能であることを示す。該ビリルビン薄膜1に、ラインアンドスペースのパターンマスク4を通して、キセノンランプ(光強度350mJ/cm2s)で20分間露光した後、0.02wt.%のテトラメチルアンモニウムハイドロキシド水溶液を用いて、30秒間ディップ現像するとポジ型のパターンが形成できる。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2005-211948.GIF
Research field
  • Optical information processing
  • Photosensitive materials
Seeds that can be deployed (In Japanese)生体物質に親和性があり、かつ温和な反応条件で、光によるパターニングを可能にする光パターニング材料および光パターン形成方法を提供する。
少なくとも、ビリルビンまたはビリルビン誘導体を用いる感光性薄膜は、薄膜中に従来技術のような反応性の高いラジカルや酸、塩基など発生する光開始剤を特に必要とせず、露光した部分の水またはアルカリ溶液における溶解度が向上し、パターン形成が可能である利点がある。
Usage Use field (In Japanese)光パターニング材料、フォトリソグラフィー材料、ビリルビン、ビリルビン誘導体、感光性薄膜
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人 千葉大学, . (In Japanese)高原 茂, . OPTICAL PATTERNING MATERIAL AND OPTICAL PATTERN FORMING METHOD. P2007-033472A. Feb 8, 2007
  • G03F   7/004    
  • H01L  21/027    
  • C07D 207/44     

PAGE TOP