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(In Japanese)内面露光装置および内面露光方法

Seeds code S120007613
Posted date Jan 4, 2012
Researchers
  • (In Japanese)堀内 敏行
  • (In Japanese)藤田 克行
  • (In Japanese)安田 喬
Name of technology (In Japanese)内面露光装置および内面露光方法
Technology summary (In Japanese)露光光線5と非感光光線52を被露光物1の内面に付着された感光性物質2に導光する筒状のガイドロッド4aの内部空間内に露光光線5を導光する光ファイバー6が挿通され、その先端部で略直角に曲げられた光ファイバー6がその壁面孔を挿通する。光ファイバー6が挿通するガイドロッド4aの壁面部にピンホール7とレンズホルダ9aを介してレンズ8aが装着される。そして、チャック3に保持された被露光物1を長手方向の軸(Y軸)回りに回転させる回転ステージ14を備える。露光光線5が感光性物質2上の所定の正確な位置に照射されるようにするには、被露光物1内面の端や、被露光物1内面に付けた位置合わせマークが、露光光線5の照射スポットの中心と合致するようにした後、被露光物1またはガイドロッド4aを所定の距離および/または角度だけ動かし、露光光線5の照射スポット中心が感光性物質2上の露光開始点に来るようにする。露光光線5をガイドロッド4aの射出口に導くために、筒状のガイドロッド4aの内部空間内に光ファイバー6を挿通する。この場合、光ファイバー6の先端の露光光線の出射方向を感光性物質2に対し直角方向に向けることが重要である。
Drawing

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thum_2007-554839.gif
Research field
  • Bearings
  • Surface treatment
Seeds that can be deployed (In Japanese)従来、高エネルギのレーザ光を照射して熱反応により表面の一部を溶融蒸発させる加工において見られる、溝底の加工不均一や溝縁のぎざつきや盛り上がりがなく、再付着物による突起も出ない加工を、光化学反応を利用した低エネルギの光照射により実現し、従来の被加工物より遥かに細い内径1mm以下の被露光物の内面に、従来より遥かに微細な幅10μm以下迄の高精細な感光性物質のパターンを形成できる装置および方法を提供する。
円筒状や角筒状等中空の被露光物の内表面にリソグラフィを施して感光性物質のパターンを形成することができ、またその感光性物質をレジストとし、レジストのパターンをマスキング材として被露光物の内表面をエッチングしたり、レジストのパターンを雌型としてめっきを施すことによって、ナット状部品やスプライン筒状の部品等のマイクロ部品を製作できる。また、小径の軸受ボスの潤滑溝や空気軸受溝等の加工を高精度に行うことができる。
Usage Use field (In Japanese)内面露光装置、軸受ボス、極細径ボールねじ、極細径ボールスプライン
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)学校法人東京電機大学, . (In Japanese)堀内 敏行, 藤田 克行, 安田 喬, . (In Japanese)内面露光装置および内面露光方法. . Jun 11, 2009
  • G03F   7/24     

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