Top > Search Technology seeds > METHOD FOR MODIFYING SURFACE OF AMORPHOUS CARBON FILM

METHOD FOR MODIFYING SURFACE OF AMORPHOUS CARBON FILM

Seeds code S120008016
Posted date Jan 18, 2012
Researchers
  • (In Japanese)平栗 健二
  • (In Japanese)金杉 和弥
  • (In Japanese)星野 祐太
Name of technology METHOD FOR MODIFYING SURFACE OF AMORPHOUS CARBON FILM
Technology summary (In Japanese)不活性ガス(Arなど)を用いて非晶質状炭素膜(例、DLC膜)の表面をエッチング(たとえば、プラズマエッチング)処理し、さらにその表面をシランカップリング剤(例、アミノシラン(APS))を用いて表面処理(浸漬)する非晶質状炭素膜の表面改質方法である。この方法によりシランカップリング剤を用いた表面改質の有効性が向上する。DLC膜は、基板(Si、ポリマー、金属、セラミックなど)上にメタンを炭素源として高周波プラズマ化学気相成長(CVD)装置により製膜される。また、使用可能なシランカップリング剤としては、3‐アミノプロピルトリエトキシシラン、3‐アミノプロピルトリメトキシシランなどがある。図は、非晶質状炭素膜が基板表面上に形成されている例を示す。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2009-050836.GIF
Research field
  • Thin films of other inorganic compounds
  • Solid‐state devices in general
Seeds that can be deployed (In Japanese)シランカップリング剤を用いた表面改質の有効性を向上できる非晶質状炭素膜の表面改質方法を提供する。
非晶質状炭素膜のシランカップリング剤を用いた表面改質の有効性を向上できる。
Usage Use field (In Japanese)非晶質炭素膜(DLC膜)、医療用デバイス
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)学校法人東京電機大学, . (In Japanese)平栗 健二, 金杉 和弥, 星野 祐太, . METHOD FOR MODIFYING SURFACE OF AMORPHOUS CARBON FILM. P2010-202466A. Sep 16, 2010
  • C01B  31/02     
  • C23C  16/27     

PAGE TOP