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METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING CARBON NANOTUBE

Seeds code S120008590
Posted date Feb 3, 2012
Researchers
  • (In Japanese)井上 翼
Name of technology METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING CARBON NANOTUBE
Technology summary (In Japanese)化学気相成長法により、昇華した塩化鉄と炭化水素のガスとが気相反応することで基板表面の酸化ケイ素の部分にカーボンナノチューブが垂直配向する。CVD装置10は電気炉12を備え、電気炉12内には石英管14が通され、石英管14の周囲にはヒータ16、熱電対18が設けられている。石英管14の一方には、ガス供給部22が接続され、石英管14の他方には圧力調整バルブ23及び排気部24が接続されている。ガス供給部22、圧力調整バルブ23及び排気部24は制御部20によって制御される。排気部24により石英管14内を真空排気し、ヒータ16により石英管14内を触媒26が昇華する温度に昇温させてから、ガス供給部22によりアセチレンガス30を石英管14に流入させる。これにより触媒26とアセチレンガス30とが気相反応し石英基板28上にカーボンナノチューブが垂直配向する。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2008-043304.GIF
Research field
  • Carbon and its compounds
  • Vapor plating
Seeds that can be deployed (In Japanese)簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造方法及び製造装置を提供する。
基板上に金属膜を形成する必要がなく、管内に供給するガスも炭化水素以外の他のガスをブレンドする必要がないので、簡単に垂直配向したカーボンナノチューブを製造することができる。
Usage Use field (In Japanese)カーボンナノチューブ、カーボンナノチューブ製造装置
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人静岡大学, . (In Japanese)井上 翼, . METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING CARBON NANOTUBE. P2009-196873A. Sep 3, 2009
  • C01B  31/02     

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