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METHOD OF PRODUCING ENDLESS PATTERN, METHOD OF MANUFACTURING RESIN PATTERN MOLDING, ENDLESS MOLDING, RESIN PATTERN MOLDING, AND OPTICAL ELEMENT

Seeds code S120009123
Posted date Feb 24, 2012
Researchers
  • (In Japanese)谷口 淳
Name of technology METHOD OF PRODUCING ENDLESS PATTERN, METHOD OF MANUFACTURING RESIN PATTERN MOLDING, ENDLESS MOLDING, RESIN PATTERN MOLDING, AND OPTICAL ELEMENT
Technology summary (In Japanese)無端状パターンの作製方法は、以下の工程を有する。(1A)電子ビーム又はイオンビームの照射により硬化又は可溶化する基板を、回転方向に回転させる工程、(2)電子ビーム又はイオンビームを照射する工程、(3)照射により又は照射後の現像により、基板の一部を除去する工程、である。また、基板が電子ビーム又はイオンビームの照射によって硬化及び可溶化しない材料で形成されている場合は、(1A)の工程に変えて、(1B)円周方向に無端の無感応性基板上に電子ビーム又はイオンビームの照射によって硬化又は可溶化する膜が付与された、基板を回転方向に回転させる工程を有する。更に、これらの作製方法では、(1A)又は(1B)の基板の回転工程と、(3)の照射工程は、別工程として行っても、同時に行なってもよい。つまり、基板を回転方向に回転させながら電子ビーム又はイオンビームを照射してもよいし、電子ビーム又はイオンビームの照射時に基板を回転させず、照射していないときに基板を回転させて全周面を照射してもよい。図は、(2A)の連続照射方法における電子ビーム又はイオンビームの照射方法の円筒状基板を斜視的に示した模式図である。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2009-038631.gif
Research field
  • Moldings
  • Molding process and its equipment in general
  • Optical devices in general
Seeds that can be deployed (In Japanese)無端状モールドなどに適用し得る無端状パターンを電子ビーム又はイオンビームの照射によって作製する方法を提供する。また、前記無端状モールドをナノインプリントの型として用いる樹脂パターン成形品の製造方法を提供する。更に、これらの製造方法によって得られる無端状モールド、樹脂パターン成形品、及び光学素子を提供する。
ロールナノインプリント等に用いることのできる無端状パターン(無端状モールド)を提供することができる。また、無端状モールドをナノインプリントの型として用いる樹脂パターン成形品の製造方法を提供できる。更に、無端状モールド、樹脂パターン成形品、及び光学素子を提供できる。
Usage Use field (In Japanese)無端状パターン、無端状モールド、樹脂パターン成形品、光学素子、ロールナノインプリント用型
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)学校法人東京理科大学, . (In Japanese)谷口 淳, . METHOD OF PRODUCING ENDLESS PATTERN, METHOD OF MANUFACTURING RESIN PATTERN MOLDING, ENDLESS MOLDING, RESIN PATTERN MOLDING, AND OPTICAL ELEMENT. P2009-223310A. Oct 1, 2009
  • G03F   7/20     
  • B29C  33/40     
  • H01L  21/027    
  • B29C  59/04     
  • B29L  11/00     

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