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(In Japanese)干渉計測装置

Seeds code S130009729
Posted date Jun 5, 2013
Researchers
  • (In Japanese)遠藤 潤二
  • (In Japanese)陳 軍
Name of technology (In Japanese)干渉計測装置
Technology summary (In Japanese)この問題を回避するために、波面分割境界からフレネル縞を発生させないことが必要である。波面分割境界が有れば必ずフレネル回折が起きる。従って、この境界にビームを当てないことが本質的な解決法である。なにか物体が有れば、あるいは、波が急激な変化を受ければ必ずフレネル回折が起こるが、その発生場所あるいはそれと光学的に等価な場所ではフレネル回折波は1点に収斂している。波面分割素子は原理的に試料面とも観察面ともまたそれらと等価な面とも異なる位置に設置する必要があるため、このままでは観察面には必ずフレネル回折波が重なる。そこで、レーザ光源と複プリズムの間に形成される観察面と等価な面上に遮蔽板をおき、波面分割素子の波面分割境界がその影の中に入るようにすれば、遮蔽板によるフレネル回折波を回避できかつ波面分割素子ではフレネル回折が起こらない状況を実現することができる。
Drawing

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thum_2001-572826.gif
Research field
  • Interferometry and interferometers
Seeds that can be deployed (In Japanese)可干渉ビーム(レーザ光、電子線など)を用いた干渉計測において、正確な計測結果を得るためには、干渉系に起因する計測誤差を取り除く必要がある。特に波面分割型干渉系では、波面分割素子の波面分割境界からフレネル回折波が発生し、これが計測精度に大きな悪影響を及ぼす。本発明は、このフレネル回折波による影響を除去するためになされた。
本発明の第1の方法によれば、波面分割型に属する干渉計測装置における複プリズムの波面分割境界から発生するフレネル回折波あるいは電子線を用いた干渉計測装置におけるフレネル回折波による位相変化を、可干渉ビーム源と複プリズムの間に形成される観察面と等価な面上に、波面分割境界を遮蔽するごとき形状のビーム遮蔽板を設置することにより除去することが可能となる。また本発明の第2あるいは第3の方法によれば、試料と干渉縞の相対的な位置関係がずれた2系列の干渉画像(群)からそれぞれ得られた2つの位相分布データから数学的に除去することができる。
Usage Use field (In Japanese)光学機器、光学システム、レーザ干渉計、干渉顕微鏡、電子干渉顕微鏡
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構, . (In Japanese)遠藤 潤二, 陳 軍, . (In Japanese)干渉計測装置. . Jul 15, 2003
  • G01B   9/02     
  • G01B  11/24     
  • H01J  37/295    

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