汚染物質排出機能を備えた循環式液体ヘリウム再液化装置、その装置からの汚染物質排出方法、その装置に使用する精製器およびトランスファーチューブ
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技術名称 | CIRCULATION TYPE LIQUID HELIUM RELIQUEFACTION DEVICE WITH CONTAMINANT DISCHARGE FUNCTION, METHOD FOR DISCHARGING CONTAMINANT, AND PURIFIER AND TRANSFER TUBE |
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研究分野 |
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