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PHYSICAL QUANTITY SENSOR AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME

Seeds code S130010324
Posted date Jun 6, 2013
Researchers
  • (In Japanese)蒋 永剛
  • (In Japanese)樋口 行平
  • (In Japanese)濱田 浩幸
  • (In Japanese)前中 一介
Name of technology PHYSICAL QUANTITY SENSOR AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
Technology summary (In Japanese)物理量センサ100は、全体に可撓性又は柔軟性を有し、基板1と、基板1上に形成されている電極層2と、電極層2上に並設されている圧電素子3a及び圧電素子3bと、圧電素子3a、3b上にそれぞれ形成されている電極層4a、4bと、電極層2、圧電素子3a、3b及び電極層4a、4bを保護している保護層5a、5b、5c、5d、5eと、を備え、基板1、電極層2、圧電素子3a(第1の圧電素子)、電極層4a(第3の電極層)、保護層5a、5b、5c、5d、5eで、第1の物理量検出部6を構成しており、基板1、電極層2、圧電素子3b(第2の圧電素子)、電極層4b(第4の電極層)で、第2の物理量検出部7を構成している。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2010-141923.gif
Research field
  • Measuring methods and instruments of force, work load, pressure, friction
Seeds that can be deployed (In Japanese)複数の物理量を同時に検出することができる物理量センサ及びその製造方法を得る。
被対象物からの圧力を検出すると共に、被対象物の曲げ動作変位検出などを一つのセンサで同時に行うことができる。
Usage Use field (In Japanese)複数物理量計測センサ、複数物理量計測センサ製造装置
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構, 兵庫県, . (In Japanese)蒋 永剛, 樋口 行平, 濱田 浩幸, 前中 一介, . PHYSICAL QUANTITY SENSOR AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME. P2012-007911A. Jan 12, 2012
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