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RAW MATERIAL COMPOSITION DETERMINING METHOD FOR MANUFACTURE OF FERRODIELECTRIC SINGLE CRYSTAL, CHEMICAL COMPOSITION RATIO COMPARING METHOD OF FERRODIELECTRIC SINGLE CRYSTAL, AND DESIGN PARAMETER DETERMINING METHOD OF SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE

Seeds code S130010700
Posted date Jun 6, 2013
Researchers
  • (In Japanese)櫛引 淳一
  • (In Japanese)大橋 雄二
Name of technology RAW MATERIAL COMPOSITION DETERMINING METHOD FOR MANUFACTURE OF FERRODIELECTRIC SINGLE CRYSTAL, CHEMICAL COMPOSITION RATIO COMPARING METHOD OF FERRODIELECTRIC SINGLE CRYSTAL, AND DESIGN PARAMETER DETERMINING METHOD OF SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE
Technology summary (In Japanese)均一な結晶育成を行うための真のコングルエント組成を決定することができる。従って、このような組成の強誘電体結晶を使用すれば、特性のばらつきの少ないデバイスを製造することができる。また、量産される単結晶に対し、VLSAW測定を用いた信頼性の高い化学組成評価が可能になる。
Drawing

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thum_2004-290711.gif
Research field
  • Techniques and equipment of thin film deposition
  • Surface acoustic wave devices
Seeds that can be deployed (In Japanese)強誘電体単結晶の評価のために従来から用いられているキュリー温度TCの測定値は、測定条件や装置間でばらついており、また、その測定再現性も十分ではないため、均質な結晶育成が行える真のコングルエント組成を求めることが困難であった。そこで、育成結晶の正しい化学組成比を求め、高精度なSAWデバイス設計パラメータを与えることを目的とする。
均一な結晶育成を行うための真のコングルエント組成を決定することができる。従って、このような組成の強誘電体結晶を使用すれば、特性のばらつきの少ないデバイスを製造することができる。また、量産される単結晶に対し、VLSAW測定を用いた信頼性の高い化学組成評価が可能になる。
Usage Use field (In Japanese)弾性表面波デバイス、強誘電体単結晶製造法
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人東北大学, . (In Japanese)櫛引 淳一, 大橋 雄二, . RAW MATERIAL COMPOSITION DETERMINING METHOD FOR MANUFACTURE OF FERRODIELECTRIC SINGLE CRYSTAL, CHEMICAL COMPOSITION RATIO COMPARING METHOD OF FERRODIELECTRIC SINGLE CRYSTAL, AND DESIGN PARAMETER DETERMINING METHOD OF SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE. P2006-108940A. Apr 20, 2006
  • H03H   3/08     

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