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平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ及びそれを用いた非破壊検査用装置


シーズコード	S130010714
掲載日	2013年6月6日
研究者	廿日出好田中三郎
技術名称	平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ及びそれを用いた非破壊検査用装置
技術概要	平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ１０は、磁界微分を計測する一次以上の微分型磁束検出コイル１を有するものである。この平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ１０は、励磁磁場の方向と、ＳＱＵＩＤリング２中のジョセフソン接合部６に流れるバイアス電流Ｉ_Ｂの方向が平行になるようにＳＱＵＩＤリング部２と磁束検出コイルを直接結合させる。このセンサでは、バイアス電流を供給するリード線薄膜パターンの、中央部リード線薄膜パターン４の方向を励磁磁場８の方向と一致させるように配線する。このセンサでは、ＳＱＵＩＤリング２のジョセフソン接合部６に流れるバイアス電流Ｉ_Ｂと、外部から印加した印加磁界（印加磁場）８の向きが平行となる構造となるようにした。このため、印加磁界８に対するローレンツ力がゼロとなる。この構造により、励磁磁場の強度を増大しても、ジョセフソン接合部で磁束トラップが発生しにくく、磁束ノイズの増加無しに検出信号を増大できる。
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研究分野	Ｊｏｓｅｐｈｓｏｎ接合・素子
展開可能なシーズ	ジョセフソン接合での磁束トラップが発生しにくい特殊な構造を有する平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ及びそれを用いた非破壊検査用装置を提供する。数ｐＴ程度の極微弱磁場計測を必要とする非破壊検査、食品中異物検出装置、バイオ活動計測などにおいて、計測する印加磁場強度を従来の約１０倍以上に増大できることが見込まれる。また、従来技術を大きく上回る高い信号・雑音比を得ることが可能となる。したがって、上記技術の高度化、実用化が促進されるだけでなく、これまで計測ができなかった微小な対象からの磁気信号が計測可能となり、微小磁気計測応用分野のさらなる開拓が期待できる。
用途利用分野	平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ、非破壊検査用装置
出願特許		特許	国際特許分類(IPC)
出願特許	( 1 )	国立大学法人豊橋技術科学大学， . 廿日出好，田中三郎， . 平面薄膜型ＳＱＵＩＤ微分型磁束センサ及びそれを用いた非破壊検査用装置. 特開2006-322886. 2006-11-30	G01N 27/72 G01R 33/035

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技術名称	PLANAR THIN-FILM SQUID DIFFERENTIAL MAGNETIC FLUX SENSOR AND NON-DESTRUCTIVE INSPECTION APPARATUS USING IT
研究分野	Josephson junction and elements