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プラズマ蒸着装置


シーズコード	S130010731
掲載日	2013年6月6日
研究者	長澤武
技術名称	プラズマ蒸着装置
技術概要	プラズマ蒸着装置１は、円筒形状のケーシング６内に円筒電極３や棒電極２等を収容する。ケーシング６の外径は２０ｍｍ程度であり、外部との電気的絶縁を確保するため、ケーシング６は絶縁部材で構成されるのが望ましい。先端には先端部蓋７が設けられ、この蓋７には、ケーシング６の外部にプラズマを噴出するための噴出口１３が複数設けられる。ケーシング６の後端には後端部蓋８が設けられ、この蓋８には、ケーシング６内にガスを注入するガス注入管９が設けられる。後端部蓋８は、さらに円筒電極３と棒電極２との間に電圧印加するための配線が貫通可能に構成される。後端部蓋８には絶縁体が用いられる。ケーシング６の側面には、ケーシング６等を貫通する、円筒形状の絶縁物で形成された絶縁管１４、１６が設けられ、この絶縁管に蒸着原料１５、１７が挿入され、円筒電極３内の空間で蒸着原料を絶縁管よりも突出させることにより、ケーシング６内にて蒸着原料のプラズマ化が行われる。蒸着原料は、同じ原料のものを用いてもよいし、異なる原料を用いてもよい。原料の種類としては、銅、アルミニウム、金、銀その他の金属でもよいし、カーボンその他の非金属でもよい。
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研究分野	気相めっきプラズマ装置
展開可能なシーズ	大気中で、所望の蒸着原料を用いた蒸着を行うことができるプラズマ蒸着装置を提供する。大気中で、所望の蒸着原料を用いた蒸着を行うことができるプラズマ蒸着装置を提供することができる。また、蒸着原料として金属、非金属を問わずに用いることができ、対象物に様々な原料を積層する蒸着塗装を行うことができる。また、きめ細かい蒸着塗装を行うことができる。また、対象物の表面にてきめ細かく蒸着可能で対象物に対する接着力が強く、塗装面から剥がれにくくなる。また、異なる原料の複数の蒸着原料を同時に用いてその混合物を対象物に蒸着させることができ、従来は不可能であった新材料の蒸着塗装を行うことができる。また、蒸着対象の対象物の塗装面の材質や凹凸具合などを問わず、自在に蒸着塗装を行うことができる。また、蒸着塗装を行う前に、蒸着原料を装着しない状態でプラズマによる塗装面の清掃を行うことができ、より接着力が強い蒸着塗装を行うことができる。
用途利用分野	プラズマ蒸着装置、マルチ型プラズマ蒸着装置、自動車車体塗装装置、電車車体塗装装置
出願特許		特許	国際特許分類(IPC)
出願特許	( 1 )	国立大学法人宇都宮大学， . 長澤武， . プラズマ蒸着装置. 特開2006-328490. 2006-12-07	C23C 14/24 H05H 1/32