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SUPER-MAGNETOSTRICTIVE THIN-FILM ELEMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Seeds code S130011120
Posted date Jun 7, 2013
Researchers
  • (In Japanese)清宮 照夫
  • (In Japanese)脇若 弘之
  • (In Japanese)牧村 美加
Name of technology SUPER-MAGNETOSTRICTIVE THIN-FILM ELEMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Technology summary (In Japanese)基板と、基板上に成膜した超磁歪材料の薄膜とを有する超磁歪薄膜素子において、薄膜は、気相成長させたSm-Fe系の超磁歪材料からなり、その組成が、15at%≦Sm≦23at%である超磁歪薄膜素子である。そして、薄膜内部応力は、220MPa~130MPaの圧縮応力となるようにする。超磁歪材料からなる薄膜を気相成長させる際に、不活性ガス圧力を0.7Pa以下とし、成膜中もしくは成膜後に200℃~300℃の温度で熱処理を行う。これにより、80kA/mの磁界印加時の磁気ひずみを-700ppm以下とすることができる。このようにして気相法にて形成された磁性薄膜は、気相から固相へと急冷される過程でアモルファス状態が得られるため、磁気異方性エネルギーが減少し、小さな磁界でも磁化し易くなり、大きな磁歪特性が得られる。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2008-071678.GIF
Research field
  • Techniques and equipment of thin film deposition
Seeds that can be deployed (In Japanese)小さな磁界でも大きな磁歪特性を発現し、しかも埋蔵量の点からも将来的に不安の少ない材料を使用して超磁歪薄膜素子を製造する。
この超磁歪薄膜素子は、薄膜構造であることから、種々の形状のデバイスへの応用が可能となり、しかも小さな磁界でも大きな磁歪特性が発現するため、新しいマイクロセンサやアクチュエータ等のマイクロデバイスへの実用化に大きく寄与できる。しかも本超磁歪薄膜素子は、Sm-Fe2元系であり、Smは希土類元素の中でも埋蔵量が比較的多い元素であることから、将来的に資源枯渇の不安も少なく、比較的安価に製造することができる。
Usage Use field (In Japanese)超磁歪薄膜素子、センサ、アクチュエータ
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)FDK株式会社, 長野県, 国立大学法人信州大学, . (In Japanese)清宮 照夫, 脇若 弘之, 牧村 美加, . SUPER-MAGNETOSTRICTIVE THIN-FILM ELEMENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME. P2009-231349A. Oct 8, 2009
  • H01L  41/12     
  • H01L  41/20     
  • H01L  41/22     
  • C22C  38/00     
  • C21D   6/00     

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