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マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器


シーズコード	S130011394
掲載日	2013年6月7日
研究者	小林峰アンジェイェフスキロフ
技術名称	マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器
技術概要	マイクロチャネルプレート組立体は、検出体が入射する側からみて１段目のマイクロチャネルプレート８１と、２段目のマイクロチャネルプレート８２と、３段目のマイクロチャネルプレート８３とを順次重ねて配置した構造を有する。そして、１段目のマイクロチャネルプレート８１は２次電子増倍利得が１倍～４×１０^３倍であり、２段目及び３段目のマイクロチャネルプレート８２、８３は２次電子像倍利得が３×１０^４倍～１×１０^５倍である、あるいは１段目のマイクロチャネルプレート８１には４００Ｖ～８００Ｖの電圧を印加し、２段目及び３段目のマイクロチャネルプレート８２、８３には１０００Ｖ～１２５０Ｖの電圧を印加する。また、１段目のマイクロチャネルプレート８１の発散角は２段目のマイクロチャネルプレート８２の切り出し角より小さく、１段目のマイクロチャネルプレートの８１切り出し角は０～５度であることが好ましい。このようなマイクロチャネルプレート組立体と、マイクロチャネルプレート組立体の出射面に配置されたワイヤアノード検出器とを備えてマイクロチャネルプレート検出器を構成する。
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研究分野	質量分析計電子ビーム・イオンビームの応用質量分析
展開可能なシーズ	マイクロチャネルプレート（ＭＣＰ）を用いた検出器では、例えば散乱イオンを検出する場合、散乱イオンのＭＣＰへの入射位置によってチャネル壁との衝突角が異なることにより、検出面上の位置に依存して検出効率が異なる問題がある。極端な場合、ＭＣＰのチャネルの方向とイオンの入射方向とが一致した場合には、二次電子の増倍が行われず、散乱イオンがＭＣＰに入ったことを検出することができない。特に、この問題は、ＭＣＰを大立体角検出器で放射状に散乱するイオン検出するときに顕著である。そこで、ＭＣＰの検出面上の位置によって検出効率が異なる問題を解決し、また検出器全面での検出効率を向上可能にする。検出体のＭＣＰへの入射角度や入射位置によらず、ＭＣＰ全面で検出効率を一様にすることができる。
用途利用分野	マイクロチャネルプレート検出器、飛行時間型二次イオン質量分析装置
出願特許		特許	国際特許分類(IPC)
出願特許	( 1 )	国立研究開発法人理化学研究所， . 小林峰，アンジェイェフスキロフ， . マイクロチャネルプレート組立体及びマイクロチャネルプレート検出器. 特開2011-129362. 2011-06-30	H01J 43/24

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技術名称	MICROCHANNEL PLATE ASSEMBLY AND MICROCHANNEL PLATE DETECTOR
研究分野	Mass spectrometers Applications of electron beams and ion beams Mass spectrometry