Top > Quick Search > Search Technology seeds > SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

Seeds code S130011663
Posted date Jun 7, 2013
Researchers
  • (In Japanese)佐藤 威友
Name of technology SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Technology summary (In Japanese)本発明に係るセンサ1は、半導体基板3と、半導体基板3上に設けられた半導体領域5と、半導体領域5の上面に設けられたソース電極7及びドレイン電極9と、半導体基板3の裏面3b上に設けられたバックゲート電極11とを備え、半導体基板3と半導体領域5とはpn接合Jを構成し、半導体領域5の上面5uの少なくとも一部5eには、複数の孔部15が形成されており、複数の孔部15は、それぞれ、半導体領域5の上面5uから半導体基板3に向かって延びると共に、半導体基板3には至っておらず、半導体領域5の上面5uの少なくとも一部5e及び複数の孔部15の側面15sは、オープンゲート5gを構成していることを特徴とする。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2010-094012.gif
Research field
  • Contacts of semiconductors
  • Manufacturing technology of solid‐state devices
Seeds that can be deployed (In Japanese)製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能なセンサ、及び、このようなセンサの製造方法を提供する。
感応面となるオープンゲートは、複数の孔部の側面を含んでいるために、表面積が大きくなる。そのため、センサの感度を高くすることができ、製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能となる。
Usage Use field (In Japanese)イオン感応性電界効果トランジスタ、ガスセンサ、バイオセンサ、イオン選択電解質センサ
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人北海道大学, . (In Japanese)佐藤 威友, . SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME. P2011-226800A. Nov 10, 2011
  • G01N  27/414    
  • G01N  27/00     

PAGE TOP