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全反射蛍光Ｘ線分析装置及び全反射蛍光Ｘ線分析方法


シーズコード	S130012123
掲載日	2013年6月10日
研究者	河合潤国村伸祐
技術名称	全反射蛍光Ｘ線分析装置及び全反射蛍光Ｘ線分析方法
技術概要	蛍光Ｘ線分析装置１０は、制御部１１とＸ線照射部１３と、検出部１４を備えている。制御部１１は、操作部１２からの操作信号を受けてＸ線照射部１３及び検出部１４を制御する。Ｘ線照射部１３は駆動回路１３１とＸ線管１３２から成り、駆動回路１３１によって駆動されたＸ線管１３２はＸ線を放射する。Ｘ線管１３２から放射されたＸ線は導波路１５を通り試料台載置部１６に着脱可能に装着された試料台１７に入射する。検出部１４はＸ線検出器１４１とＸ線検出器１４１の検出信号を増幅する増幅器１４２から成る。試料台１７には１次Ｘ線として非単色化Ｘ線が照射されるように構成されている。
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研究分野	物理分析
展開可能なシーズ	蛍光Ｘ線分析法による元素の検出感度を上げるために単色化（モノクロ）したＸ線を試料に入射させる方法がある。しかし、入射Ｘ線を単色化すると当該入射Ｘ線の強度が低下するので、大型のＸ線発生装置を用いているが、その分、蛍光Ｘ線分析装置が大型化する。また、高出力Ｘ線が外部に漏洩することを防止する遮蔽部材が必要となり、重量化する。そこで、小型化及び軽量化を図ることができる高感度な全反射蛍光Ｘ線分析装置及び全反射蛍光Ｘ線分析方法を提供する。Ｘ線源から放射されるＸ線を単色化することなくそのまま試料を照射するため、全反射蛍光Ｘ線分析装置の小型化を図ることができる。また、Ｘ線源から放射されるＸ線を単色化しないため、小型の低電力のＸ線源を用いることができる。従って、遮蔽部材を軽量にしたり不要にしたりすることができ、全反射蛍光Ｘ線分析装置の軽量化を図ることができる。
用途利用分野	全反射蛍光Ｘ線分析装置
出願特許		特許	国際特許分類(IPC)
出願特許	( 1 )	国立大学法人京都大学， . 河合潤，国村伸祐， . 全反射蛍光Ｘ線分析装置及び全反射蛍光Ｘ線分析方法. . 2012-02-02	G01N 23/223