Top > Quick Search > Search Technology seeds > (In Japanese)薄状部材のハンドリング装置

(In Japanese)薄状部材のハンドリング装置

Seeds code S022000237
Posted date May 26, 2003
Researchers
  • (In Japanese)樋口 俊郎
Affiliation
  • (In Japanese)東京大学 大学院工学系研究科精密機械工学専攻
Research organization
  • (In Japanese)東京大学 大学院工学系研究科精密機械工学専攻
Name of technology (In Japanese)薄状部材のハンドリング装置
Technology summary (In Japanese)本技術は、静電気力を用いて薄板やフィルムを補助的に支持し、ほとんど非接触でハンドリングする技術に関するものである。 本技術は、実際の応用では対象物を完全に非接触にする必要がないことを加味し、対象物の局部、例えばエッジ部分を真空または強い静電気等で吸引固定した上で、対象物中央の重力により垂れ下がる部分を弱い静電気力で補助的に支持する非接触ハンドリング方法である。本システムでは、近接センサーの個数を減らしたり、なくすことも出来る。また、該板状物体を重力に対し斜めに保持することで、水平に保持するのと比較して省エネルギー・省スペースが可能となり、板状物体の搬送、反転、保管等を効率的にできる。
Drawing

※Click image to enlarge.

S022000237_01SUM.gif S022000237_02SUM.gif S022000237_03SUM.gif
Outline of related art and contending technology (In Japanese)既に板状物体を静電気力により浮上させるという完全な非接触ハンドリング方法「静電浮上システム」を提案しているが、ハンドリング対象物が広くて薄いほど必要とする近接センサーの個数が増え、システム構成費が高くなるという問題がある。
Research field
  • Electrostatic equipment
  • Manufacturing technology of solid‐state devices
  • Air purification
Seeds that can be deployed (In Japanese)(1)完全に非接触ではなく、局部を機構的に接触支持し、中央部を静電気力で補助的に支持するハンドリング装置
(2)システム全体のセンサー数やコストを減らすことができるハンドリング装置
(3)該板状物体を重力に対し斜めに保持することで効率化を図るハンドリング装置
Usage Use field (In Japanese)液晶表示用基板、Siウエハ等の薄板運搬等
Published papers related (In Japanese)(1)POH F, 樋口俊郎. 静電気吸引力を用いた薄いガラス板の非接触ハンドリング装置. 電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集. vol.11st,1999,p.240‐245.
(2)樋口俊郎, JIN J, 金本学. ハードディスク用メディアの静電浮上. 電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集. vol.6th,1994,p.417‐420.
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構, . (In Japanese)樋口 俊郎, 傅 寶▲莱▼, . METHOD AND DEVICE FOR HANDLING THIN MEMBER. P2001-198759A. Jul 24, 2001
  • B65G  49/06     
  • H01L  21/677    
  • B23Q   3/15     
  • H02N  13/00     

PAGE TOP