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(In Japanese)マイクロリングあるいはマイクロドットを呈した微細パターンの製造方法

Seeds code S090000604
Posted date Sep 14, 2009
Researchers
  • (In Japanese)藪 浩
  • (In Japanese)田中 賢
  • (In Japanese)下村 政嗣
Name of technology (In Japanese)マイクロリングあるいはマイクロドットを呈した微細パターンの製造方法
Technology summary (In Japanese)構造体の製造方法は、両親媒性材料とマトリクス材料とからなる多孔質薄膜を基板上で熱処理したのち多孔質膜の一部または全部を剥離することにより、基板にマイクロリング、マイクロドットを呈した微細パターンを転写、生成させる。多孔質薄膜は両親媒性材料およびマトリクス材料の溶液を展開し、高湿度下において溶媒を蒸発させることにより形成した多孔質膜を使用する。リング及びドットの形成メカニズムは、図示の機構のとおりと考えられる。ハニカムフィルムは水滴を鋳型としているため、鋳型となる水滴の周辺に両親媒性ポリマー高濃度に濃縮する。これを基板上で加熱することにより、116℃でフィルムは軟化するが、ハニカム状構造を保持しており、基板に接しているポリマーのみが基板上に転写される。一方温度を上げ180℃を超えるあたりではフィルム全体が軟化し、全体がつぶれ、ハニカムの孔も同時に圧縮される。その空間に元々濃縮されていたポリマーが集まり、ドット状の構造となる。
Drawing

※Click image to enlarge.

S090000604_01SUM.gif
Research field
  • Printed circuits
  • Medical materials
Seeds that can be deployed (In Japanese)電子、光機能性および生体適合性をもつ材料からマイクロスケールの周期構造を呈したマイクロリングあるいはマイクロドットパターンあるいはこのパターンを有する構造体をコストのかからない、簡単な設備とプロセスによって提供する。
トランジスタアレイなどの電気回路、回折格子やフォトニック結晶などのフォトニクス材料異方性固体伝導性材料や半導体材料、各種記録媒体のほか、細胞培養基材、DNAチップはじめとすると各種バイオ診断用チップ、セパレーターやイオン交換膜などの電池隔膜材料、各種の触媒、酵素、抗体および薬剤などの有用な担体が提供される。
Usage Use field (In Japanese)周期構造
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構, . (In Japanese)藪 浩, 田中 賢, 下村 政嗣, . MANUFACTURING METHOD OF FINE PATTERN SHOWING MICRORINGS OR MICRORODS. P2005-270688A. Oct 6, 2005
  • B01J  19/00     
  • B81C   1/00     
  • B82B   3/00     
  • C08J   9/28     
  • G02B   1/02     
  • C08L 101/00     

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