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(In Japanese)プラズマジェット発生装置 meetings

Seeds code S090002353
Posted date Mar 19, 2010
Researchers
  • (In Japanese)一木 隆範
Name of technology (In Japanese)プラズマジェット発生装置 meetings
Technology summary (In Japanese)このプラズマジェット発生装置は、放電管と、放電管付近に配置されたアンテナおよびその電源から構成される高周波誘導結合式のプラズマ発生装置であって、放電管の一端に放電管よりも内径の小さいノズルを有し、放電管の内径を5mm以下として小型化し、またノズルの内径を2mm以下とすることから、生成するプラズマの体積を小さくしてプラズマ生成に必要な電力を低減することができる。尚、ノズルの内径dと放電管内径Dの比d/Dは1~1/100の範囲とする。上記のように狭い放電管でのプラズマ生成では放電管壁での電子の損失が問題となるため、交番電界中での電子の捕捉効率を高めるために最適な周波数領域であるVHF帯(30-300MHz)の高周波をアンテナに印加することで低電力でのプラズマ生成が可能となる。このとき、アンテナとしてソレノイドアンテナを用いることができる。この結果、発生する総熱量は抑えられ、高密度プラズマを細いノズルの先端からジェット状に噴出させることのできる無電極方式の高周波誘導結合式のプラズマジェット発生装置が実現できる。
Drawing

※Click image to enlarge.

S090002353_01SUM.gif
Research field
  • Plasma devices
  • Gas discharges
  • Special machining
Seeds that can be deployed (In Japanese)表面処理を高速で行うプラズマジェット発生装置に関するもので、従来技術の問題点を解消し、高密度プラズマを細いノズルからジェット状に噴出させ、被加工物の局所部位に溶断、エッチング、薄膜堆積などの加工、表面処理を高速で行うことのできる、新しいプラズマジェット発生装置を提供する。
高周波誘導結合式熱プラズマ発生装置は、大電力を入力する結果として生成する多量の熱の制御が困難であるため、微小面積にプラズマを照射できない。本装置は、低電力の高周波放電により精細な高密度プラズマジェットの発生が可能であり、直流放電の場合とは異なり、金属、プラスチック等の材料を選ばず、局所部位への高速ドライエッチングや成膜などの精密加工を施すために実用的である。
Usage Use field (In Japanese)高周波プラズマ発生装置、X線回折装置、熱分析装置、マイクロ波発振機、放電プラズマ発生装置
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立研究開発法人科学技術振興機構, . (In Japanese)一木 隆範, . PLASMA JET GENERATOR. P2003-109795A. Apr 11, 2003
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