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(In Japanese)クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法

Seeds code S090002601
Posted date Mar 26, 2010
Researchers
  • (In Japanese)鈴木 和年
  • (In Japanese)吉田 兵吾
  • (In Japanese)佐藤 雅郎
Name of technology (In Japanese)クリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法
Technology summary (In Japanese)この技術は、クリーンルーム相互間で気送管を用いて気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法において、クリーンルーム内の空気を乱すことなく、気送管からの発塵を防止し、安定に気送搬送物を搬送するように改良された搬送システム及びその搬送方法である。すなわち、送信側クリーンルームから受信側クリーンルームに気送管が延長されこの気送管の中に気送搬送物を投入して受信側クリーンルームで気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システムであり、気送管に配設され気送搬送物の送信開始と受信終了の際に気送管の内部の空気を低風量で吸引する排風手段を具備するようにしたものである。
Drawing

※Click image to enlarge.

S090002601_01SUM.gif
Research field
  • Air purification
  • Conveyers
Seeds that can be deployed (In Japanese)クリーンルーム相互間で気送管を用いて、クリーンルーム内の空気を乱すことなく、気送搬送物を受信するクリーンルーム間の搬送システム及びその搬送方法を提供する。
気送管内にある微粒子は、気送管内から送信側クリーンルーム或いは受信側クリーンルームに発塵するのを防止することができる。クリーンルーム内の清浄度を良好に維持することができる。気送搬送物が搬送物取出口に緩やかに到着させることができる。気送搬送物が衝撃により破損する危険を大幅に軽減させることができる。クリーンルーム内の空気流に乱れが生じるのを防ぐことができる。
Usage Use field (In Japanese)クリーンルーム間の搬送システム
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, . (In Japanese)鈴木 和年, 吉田 兵吾, 佐藤 雅郎, . CARRYING SYSTEM AND METHOD BETWEEN CLEAN ROOM. P2001-199543A. Jul 24, 2001
  • B65G  51/08     
  • B65G  51/18     
  • B65G  51/20     

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