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(In Japanese)透明導電膜の製造方法および製造装置

Seeds code S090004285
Posted date Mar 30, 2010
Researchers
  • (In Japanese)南 内嗣
  • (In Japanese)宮田 俊弘
Name of technology (In Japanese)透明導電膜の製造方法および製造装置
Technology summary (In Japanese)透明導電膜を製造するために、アルミニウムがドープされた酸化亜鉛をターゲットとして用い、水素を導入した雰囲気中で、直流電力に高周波電力を重畳したスパッタ電圧を用いたマグネトロンスパッタリング法により基体の上に透明導電膜を形成する。これによってエロージョン対向部での酸化が抑制でき、透明導電膜の抵抗率分布の不均一性を改善できる。これを実現する装置の構成を図に示す。真空チャンバ70に収容されたマグネトロンスパッタリング装置10内のターゲット20と薄膜形成基体30を対向させ、基体の裏面にアノード60を設ける。ターゲットを保持するステンレス鋼製マグネトロンカソード部22に電力供給源40により交流電力(高周波電力)が重畳した直流電力を供給する。その背面に磁界を発生する磁石50とヨーク52を置き、両者の隙間に冷却水などの冷媒を循環させるパイプ54を設ける。
Drawing

※Click image to enlarge.

S090004285_01SUM.gif
Research field
  • Techniques and equipment of thin film deposition
Seeds that can be deployed (In Japanese)マグネトロンスパッタリング法で、ITOの代替材料として有望なアルミニウムドープ酸化亜鉛の透明導電膜を形成する際に、均一な抵抗率分布の膜を製造する方法とその装置を提供する。
ITOに替わって、安価で豊富に供給でき、かつ均一な抵抗率分布を有する透明導電膜が得られる。
Usage Use field (In Japanese)フラットパネルディスプレイ、薄膜製造装置
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)学校法人金沢工業大学, . (In Japanese)南 内嗣, 宮田 俊弘, . MANUFACTURING METHOD AND MANUFACTURING APPARATUS FOR TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM. P2007-154255A. Jun 21, 2007
  • C23C  14/08     
  • C23C  14/35     
  • C23C  14/34     
  • C23C  14/38     
  • C23C  14/40     
  • H01B  13/00     

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