Top > Search Technology seeds > APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING MICRO-PLASMA AND PLASMA ARRAY MICROSCOPE

APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING MICRO-PLASMA AND PLASMA ARRAY MICROSCOPE

Seeds code S100001747
Posted date Oct 4, 2010
Researchers
  • (In Japanese)白井 肇
  • (In Japanese)長谷川 靖洋
Name of technology APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING MICRO-PLASMA AND PLASMA ARRAY MICROSCOPE
Technology summary (In Japanese)マイクロプラズマ生成装置20は、絶縁材料からなる支持板21と、この支持板21に対して縦方向及び横方向に配置するとともに固定されてなる複数の電極22と、これら複数の電極22に対して高周波電力を供給するための高周波アンテナ23と、複数の電極22に対し、高周波アンテナ23を介して高周波電力を供給するための高周波電源と、複数の電極22が位置する領域に所定強度の磁場を生成させるための、磁場印加手段としての電磁コイルとを具えている。複数の電極22のそれぞれは管状構造を呈しており、その内部空間22Aにプラズマ生成ガスを導入するとともに、電極22の先端部に設けられた開口部から放出させ、高周波電力によってプラズマ生成ガスをプラズマ化し、先端部にマイクロプラズマを生成させる。さらに、支持板21の、複数の電極22間にはそれぞれ開口部25が設けられ、開口部25を介して、電極22の長さ方向に沿ってプラズマ再結合用ガスを流す。このようにして生成されたマイクロプラズマを用いることにより、微小な材料の加工や測定を行うことができるようになり、高空間分解能化を実現できる。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2003-007438.gif
Research field
  • Plasma devices
  • Gas discharges
  • Plasma production and heating
Seeds that can be deployed (In Japanese)微小なマイクロプラズマを生成し、材料の加工や測定などにおいて高い空間分解能を実現する。
微小なマイクロプラズマを生成し、材料の加工や測定などにおいて高い空間分解能を実現することが可能な、マイクロプラズマ生成装置及び生成方法を提供することができる。
Usage Use field (In Japanese)マイクロプラズマ生成装置、プラズマアレイ顕微鏡
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人埼玉大学, . (In Japanese)白井 肇, 長谷川 靖洋, . APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING MICRO-PLASMA AND PLASMA ARRAY MICROSCOPE. P2004-220935A. Aug 5, 2004
  • H05H   1/24     
  • B82B   3/00     
  • C23F   4/00     
  • G01B   7/34     
  • C01B  31/02     

PAGE TOP