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PROBE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND MICROSCOPE AND TESTER HAVING PROBE

Seeds code S100001929
Posted date Oct 6, 2010
Researchers
  • (In Japanese)武笠 幸一
  • (In Japanese)末岡 和久
  • (In Japanese)木村 道哉
  • (In Japanese)澤村 誠
  • (In Japanese)細井 浩貴
Name of technology PROBE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND MICROSCOPE AND TESTER HAVING PROBE
Technology summary (In Japanese)このプローブは、基板と、一端が基板に固定された可撓性のカンチレバー11と、そのカンチレバーの他端に配置された磁気抵抗素子6とを具え、カンチレバー11の長手方向に垂直な方向における磁気抵抗素子6の長さを、磁性体探針を接合することなく波長が10μm以下の漏洩磁場を検出することができるように10nmと1μmの間とする。カンチレバー11の長手方向に垂直な方向(感磁方向)における磁気抵抗素子6の長さを小さくするに従って磁気抵抗素子6の分解能が良好になるという特性を利用し、磁気抵抗素子6の感磁方向における長さを1μm以下にすることによって、磁性体探針を接合することなく、波長が10μm以下の漏洩磁場を検出できる。その結果、高分解能のプローブを、歩留まり良く多量に製造できる。なお、感磁方向における長さが1μm以下の磁気抵抗素子6を、電子線リソグラフのようなリソグラフ技術を用いて形成できる。磁気抵抗素子6の感磁方向における長さを小さくすると、更に小さい波長の漏洩磁場を検出できるが、10nmより小さくなると、磁性体膜の磁化が熱振動により揺らぎ、所定の特性を有さなくなるおそれがある。
Drawing

※Click image to enlarge.

thum_2001-058528.gif
Research field
  • Magnetoelectric devices
  • Measuring techniques and equipments of magnetic materials
Seeds that can be deployed (In Japanese)歩留まり良く多量に製造することができる、高分解能のプローブ及びその製造方法並びにプローブを有する顕微鏡及びIC回路を提供する。
磁気抵抗素子の感磁方向における長さを1μm以下にすることによって、従来のように磁性体探針を接合することなく、波長が10μm以下の漏洩磁場を検出することができ、高分解能のプローブを、歩留まり良く多量に製造することができる。
Usage Use field (In Japanese)磁気抵抗素子付きプローブ、プローブ顕微鏡、IC回路
Application patent   patent IPC(International Patent Classification)
( 1 ) (In Japanese)国立大学法人北海道大学, . (In Japanese)武笠 幸一, 末岡 和久, 木村 道哉, 澤村 誠, 細井 浩貴, . PROBE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND MICROSCOPE AND TESTER HAVING PROBE. P2002-257507A. Sep 11, 2002
  • G01N 13/22      
  • G01R 33/09      
  • G12B 21/10      

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